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真空爐溫度均勻性的測量過程
真空爐溫度均勻性的測量過程
1、準備工作
將測量熱電偶及控溫熱電偶按GB/J351—1996《中華人民共和國國家計量鑒定規程》中相關規定進行檢測，檢測合格方能進行爐溫均勻性測定。自爐體拆下測溫孔的蓋板，將9根經過檢測合格的熱電偶依次穿上密封墊圈、橡膠墊圈，自法蘭孔中引入爐腔內，并依次按圖1位置固定在位于爐門口支撐架上，支撐架的尺寸為有效加熱尺寸。將支撐架小心地移入爐腔內，放在爐床上，調整其位置，使之恰好與有效加熱空間重合。固定測溫法蘭的熱電偶孔，依次放入密封墊圈，橡膠墊圈上涂布真空脂，旋緊壓緊螺栓，安裝好法蘭。
按操作規程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空，直到工作真空度到達2Pa后，停機30min，觀察真空計讀數，看壓升率是否在正常的0.5Pa/h之內,正常則繼續進行爐溫均勻性的測量，不正常則重新調整旋緊螺栓，重新測定壓升率，直到正常，才能繼續進行爐溫均勻性的測定。
2、測定過程
根據工藝需求進行選定測量溫度點為650℃、850℃和1000℃，在FP21控溫儀表上，設定升溫曲線。在控制偶到設定溫度120min后，開始測定各支熱電偶的值。每隔5min讀取1次，連續3次，如果各點溫度在所要求溫度的±5℃以內，則此溫度點測量完畢，否則繼續等溫，直到溫度均勻或時間到達3h(工藝設定的保溫時間)為止并記錄各點的溫度。調整FP21表，自650℃升溫至850℃，保溫120min，重復650℃溫度點測量步驟。
同樣自850℃升溫到1100℃，保溫120min，重復650℃溫度點測量步驟。以上數據分別填入記錄表中，完成測定后，按正常的空爐冷卻步驟進行降溫。
3、恢復設備
打開爐門，拉出測量支架，拆開固定熱電偶的鐵絲，拆下法蘭盤，安裝好原蓋板，按正常使用進行壓升率測試，按操作規程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空，直到工作真空度到達2Pa后，停機30min，觀察真空計讀數，看壓升率是否在正常的0.5Pa/h之內，合格則繼續，設備可以正常使用，否則繼續重新安裝原測溫口蓋板。從測溫法蘭盤中拆下測量熱電偶，注意抽出時要小心取直，以防止折斷、損壞熱電偶。
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