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認識真空爐的低中高三種真空狀態
真空熱處理爐是在爐腔內把真空技術與熱處理兩個雜糅在一起，是在接近真空或者部分真空的狀態下進行熱處理工作。真空狀態可以根據真空爐要求的不同而劃分為低、中、高和超高真空系統。目前大多數真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。
真空低壓滲碳高壓氣淬爐
1.低真空系統
低真空系統適用于真空度在2～1333Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵。
2.中真空系統 中真空系統適用于真空度在3X10～～1.333Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用較為廣泛，其通常由兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵或油增壓泵。
3.高真空系統
高真空系統適用于真空度在6.6×10～～1.333 X 10ˉ³Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵。
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