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真空燒結爐升降溫度的調節

  對于真空燒結爐的溫度調節點,很多人都比較關注運行實際的峰值溫度。燒結爐一個最佳溫度范圍,太高的話算為過燒,過低的話算是欠燒。這兩種情況都不是最佳的燒結效果。把握好溫度的控制是找到最佳燒結溫度范圍的關鍵點。如何判斷是欠燒還是過燒?請參考燒結爐上的電性能參數,可以通過它來判斷。

  欠燒時,穿透氮化硅的銀漿留有殘余,那么進入N型層的銀漿也比較少,歐姆接觸效果不好,會造成串聯的電阻較大。過燒時,銀的消耗量會較平時多一些,而且會形成有銀硅形成的混合層,這個混合層會起到阻礙的作用,同樣也會形成串聯的電阻過大。所以單單通過電阻不能推斷是欠燒還是過燒狀態。

  當無法判斷燒結的狀態時可以調節8區的溫度,找到大概的調節點,然后緩慢進行微調。微調的時候我們可以通過背場的狀態來判斷,如果背場微微鼓起,那么就是出于過燒,所以應微調降低溫度。

  在開始燒結之前要先確認每個加熱燈管是否可以正常運行。檢查各個溫區的燈管輸出的功率是否高于其他溫區燈管的平均值,來保證燒結的平均性。







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