真空熱處理是真空技術與熱處理兩個專業相結合的綜合技術，是指金屬制件在真空或先抽真空后通惰性氣體條件下加熱，然后在油或氣體中淬火冷卻的技術。真空熱處理爐是將工件在真空條件下進行熱處理的設備，真空熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化等；真空熱處理和其他傳統熱處理方法相比較具有一些獨特的優點：

1 凈化作用可使金屬表面氧化物分解，從而獲得光亮、清潔的工件表面。

2 真空保護作用可使金屬避免氧化、脫碳、增碳等不利影響，保持工件表面原有的化學成分和光亮度。

3 除氣作用在真空中可除去工件原來溶解、吸收的氣體，使金屬產品性能有明顯提高。

4 脫脂作用在真空中加熱，金屬零件在機械加工和沖壓成型過程中使用的冷卻劑、潤滑劑等油脂能自行揮發，并被真空抽走，不致在高溫時與零件表面產生反應。因此可以輕易得到無氧化、無腐蝕的非常光潔的表面。

5 節省能源真空熱處理爐蓄熱和散熱損失小、熱效率高。

6 被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小；不易開裂，產品合格率高；真空熱處理可輕易地嚴格按照工藝要求控制溫度變化，從而獲得理想的金相組織，提高了工件的機械性能和使用壽命；真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。

7 真空熱處理后的產品可直接用于高精加工或作為最終產品，免除了清洗、表面加工等輔助工序，大大降低生產成本。

8 對環境沒有污染和公害，自動化程度高，操作安全簡單。

這一系列的優點，使真空熱處理設備和工藝被越來越重視，其應用范圍也越來越廣,目前它已成為工模具中較好的熱處理工藝,可以毫不夸張地說，真空熱處理已成為當前先進熱處理生產技術的主要標志。