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真空爐高溫除氣工藝對(duì)降低不銹鋼出氣率的作用
真空爐高溫除氣工藝對(duì)降低不銹鋼出氣率的作用
真空爐高溫除氣工藝可以大大降低不銹鋼出氣率.通過(guò)應(yīng)用實(shí)例,給出了真空爐高溫除氣和現(xiàn)場(chǎng)烘烤除氣及二者結(jié)合除氣的結(jié)果,分析了真空爐高溫除氣的有利因素,證明采用該工藝對(duì)于降低不銹鋼出氣率,從而獲得超高真空具有顯著的效果.
根據(jù)真空基本公式p=Q/S可知,要獲得超高真空即低壓力p,有降低氣載Q和增大泵抽速S兩大途徑。真空技術(shù)發(fā)展到目前的水平,增大各種泵抽速的研究已無(wú)太大進(jìn)展。而且在細(xì)長(zhǎng)型真空系統(tǒng)(如粒子儲(chǔ)存環(huán)、加速器束流傳輸線等)中,泵的有效抽速受流導(dǎo)的限制,即使采用大抽速的泵,也不會(huì)對(duì)系統(tǒng)真空度產(chǎn)生大的影響。從而可知,獲得超高真空的最有效途徑是降低氣載。一個(gè)超高真空系統(tǒng)中,材料的出氣往往是氣載的主要來(lái)源。從經(jīng)濟(jì)角度和空間位置等方面考慮,如果采用特殊工藝能夠使材料出氣率降低1個(gè)數(shù)量級(jí),比增加10倍的泵要經(jīng)濟(jì)、合理得多。因此,研究先進(jìn)工藝對(duì)材料進(jìn)行處理,獲得盡可能低的材料出氣率一直是超高真空領(lǐng)域的一個(gè)重要研究課題。20世紀(jì)70年代,用真空爐高溫烘烤去除冶煉時(shí)溶解在材料內(nèi)部的各種氣體(以H2為主),從而獲得低出氣率的除氣工藝就在國(guó)外眾多粒子加速器真空系統(tǒng)中得到了廣泛的應(yīng)用,也獲得了預(yù)想的結(jié)果。國(guó)內(nèi)許多真空設(shè)備元器件(如濺射離子泵泵芯、泵殼等)也采用真空爐除氣的方法來(lái)獲得較高的極限真空(大于5×10-9Pa)。
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